1200℃管式爐化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

爐外殼

1、外殼采用金屬Q235低碳鋼，表面靜電耐藥涂裝，抗腐蝕

2、 堅(jiān)固的雙層金屬框架配合隔熱風(fēng)扇結(jié)構(gòu)，爐表面溫度低

3、水平使用方式，上開蓋結(jié)構(gòu)，操作方便

耐火材料

多層隔熱設(shè)計(jì)，由輕質(zhì)氧化鋁陶瓷纖維和高品質(zhì)隔熱板背襯組成，不含石棉成分，熱損失小，能耗低

加熱系統(tǒng)    

1、高品質(zhì)HRE螺旋電阻絲發(fā)熱體，牢固的鑲嵌在爐膛表面，在爐腔內(nèi)自由熱輻射加熱，使用壽命長(zhǎng)

2、電阻絲環(huán)形加熱，從而實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)的良好均勻性

溫度控制面板

1、PID配合SSR控制方式，溫度控制準(zhǔn)確

2、國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化N型鎳鉻硅熱電偶，測(cè)溫范圍0-1300℃，使用壽命長(zhǎng)

3、爐門帶有開門斷電保護(hù)開關(guān)

程序控制器

1、適應(yīng)復(fù)雜工藝需求的的控制器

2、操作簡(jiǎn)單直接，編程靈活

3、可編程4條曲線，單條曲線8個(gè)程序段

4、超溫和故障報(bào)警，自動(dòng)進(jìn)行保護(hù)

真空氣氛功能

1、帶有304不銹鋼的密封法蘭，獲得爐管內(nèi)的真空或者氣氛

2、高品質(zhì)石英玻璃工作管，也可選擇金屬或剛玉材質(zhì)的工作管，從而適應(yīng)不同的工況

3、高性能雙極旋片真空泵，可獲得5pa的真空度，數(shù)字真空計(jì)可顯示真空度

4、帶有氣路控制單元，控制單元可選擇1-3路MFC自動(dòng)控制系統(tǒng)