【產(chǎn)品名稱(chēng)】1200℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1200℃
【電源電壓】AC220V/50Hz
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
一、 產(chǎn)品描述
系列產(chǎn)品主要針對(duì)在真空或者保護(hù)氣氛下對(duì)樣品的熱處理，優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性；產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，爐管材質(zhì)優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口，可通入保護(hù)氣體，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料，新型拼裝結(jié)構(gòu)，高溫不變形、堅(jiān)固耐用
2、 發(fā)熱體采用高溫合金絲，可承受負(fù)荷大，穩(wěn)定且使用壽命長(zhǎng)
3、 爐管采用石英管，兩端不銹鋼法蘭設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、合理、易拆卸，方便進(jìn)出被燒結(jié)樣品
4、 升溫速度快，從室溫升到1000攝氏度，一般需要15-30分鐘
5、 采用智能PID溫控儀表，控溫精度高，沖溫小，具有溫度補(bǔ)償和溫度校正功能，精度為±1℃
6、 控溫儀表具有程序功能，可設(shè)定升溫曲線(xiàn)，可編程序30段
7、 一體式結(jié)構(gòu)，出色的外觀設(shè)計(jì)，美觀、大方
8、 電子元器件均采用知名產(chǎn)品，帶有漏電保護(hù)功能
9、 本機(jī)對(duì)工作過(guò)程中的超溫會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并自動(dòng)完成保護(hù)動(dòng)作
10、當(dāng)儀表程序設(shè)定完成后，只要按下運(yùn)行按鈕，接下來(lái)的工作會(huì)自動(dòng)完成
11、可選配大屏幕無(wú)紙記錄儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)升溫曲線(xiàn)的實(shí)時(shí)記錄，并帶有存儲(chǔ)卡可對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印
12、可選配氣體質(zhì)量流量計(jì)，通入氣體可數(shù)字精確控制
型號(hào) | STGC-25-12 | STGC-40-12 | STGC-60-12 | STGC-80-12 | STGC-100-12 | STGC-120-12 |
爐管尺寸 | Φ25 x 800mm | Φ40 x 800mm | Φ60 x 800mm | Φ80 x 800mm | Φ100 x 800mm | Φ120 x 800mm |
額定溫度 | 1200℃ | |||||
工作溫度 | 1100℃ | |||||
加熱區(qū)尺寸 | 300mm | |||||
電源電壓 | 220V/1.8KW | 220V/1.8KW | 220V/2.6KW | 220V/2.6KW | 220V/2.6KW | 220V/5KW |
加熱元件 | HRE合金電阻絲 | |||||
爐膛材料 | 濕法真空抽濾成型制備的多晶無(wú)機(jī)氧化鋁陶瓷纖維材料 | |||||
爐管材料 | 石英管 | |||||
控溫精度 | ±1℃ | |||||
測(cè)溫元件 | N型熱電偶 | |||||
溫控儀表 | 智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數(shù)自整定功能；可編程序30個(gè)時(shí)段，程序升溫、程序保溫、程序降溫 | |||||
升溫速度 | 1-25℃/min自由調(diào)節(jié) | |||||
爐體結(jié)構(gòu) | 爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu)，爐膛開(kāi)合式；雙層外殼，空氣循環(huán)隔熱 | |||||
密封性能 | 爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進(jìn)行工作， 密封真空度≤0.0001pa | |||||
氣氛性能 | 法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量，可通入氮?dú)狻鍤狻錃獾缺Ｗo(hù)氣體 | |||||
真空獲得 | 配套獨(dú)立的真空獲得系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)配有1臺(tái)雙極旋片式真空泵和數(shù)字真空計(jì)，包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件，系統(tǒng)真空度≤5pa，還可以選擇分子泵機(jī)組 | |||||
氣路系統(tǒng) | 配套獨(dú)立的氣路系統(tǒng)，系統(tǒng)有三路浮子流量計(jì)組成，有混氣室，可單進(jìn)單出也可三路氣體混氣后進(jìn)入管式爐系統(tǒng)，浮子流量計(jì)量程：60-600ml/min；也可選擇自動(dòng)質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)，控制精度±1.5%FS，重復(fù)精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM | |||||
設(shè)備保護(hù) | 模塊化控制，對(duì)工作過(guò)程中的超溫、斷偶會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)，并自動(dòng)完成保護(hù)動(dòng)作 | |||||
人員保護(hù) | 在設(shè)備上裝有空開(kāi)斷路器，如發(fā)生短路漏電情況時(shí)會(huì)自動(dòng)彈開(kāi)，能保護(hù)設(shè)備和操作人員 | |||||
外殼 | 優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板數(shù)控機(jī)床下料加工，經(jīng)過(guò)焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉 | |||||
質(zhì)量認(rèn)證 | ISO9001 CE SGS TUV | |||||
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 1、爐體一臺(tái) 2、溫度控制器一臺(tái) 3、電源線(xiàn)3米 4、熱電偶一支 5、說(shuō)明書(shū)一份 6、爐鉤一把 7、高溫手套一雙 8、管堵二個(gè) 9、密封法蘭一套 | |||||
快速導(dǎo)航
